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2019年华中科技大学博士研究生入学考试微纳制造技术考试大纲第二部分考查要点

2019年华中科技大学博士研究生入学考试《微纳制造技术》考试大纲第二部分考查要点
技校网 更新时间:2021-06-30 11:20:00 解决时间:2019-01-08 11:00

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第二部分 考查要点

1.了解微纳制造的概况与应用;

2.掌握集成电路制造所涉及的基本单项工艺,包括光刻、扩散、刻蚀、氧化、离子注入、光刻、蒸发、溅射、化学气相淀积、外延生长,以及它们的物理和化学原理;

3.掌握半导体衬底、快速热处理、真空科学与等离子体、分子束外延;

4.掌握集成电路工艺技术与工艺集成。

  技校网数据中心 2019-01-08 11:00
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