1.了解微纳制造的概况与应用;
2.掌握集成电路制造所涉及的基本单项工艺,包括光刻、扩散、刻蚀、氧化、离子注入、光刻、蒸发、溅射、化学气相淀积、外延生长,以及它们的物理和化学原理;
3.掌握半导体衬底、快速热处理、真空科学与等离子体、分子束外延;
4.掌握集成电路工艺技术与工艺集成。